威斯尼斯人官网中微公司拟增资上海睿励 布局集成电路工艺检测设备范畴

　　为完善事务布局，拓宽公司事务范围，半导体企业中微公司(688012)拟1亿元增资睿励科学仪器（上海）有限公司（下称“上海睿励”），布局集成电路工艺检测设备范畴。

　　12月28日晚间，中微公司布告，公司拟对上海睿励进行增资，以现金方法出资1亿元人民币，认购上海睿励新增注册资本8333.33万元人民币，认购单价为1.2元/股（注册资本）。上述买卖完成后，上海睿励注册资本添加至428亿人民币，公司持股份额为20.4467%。

　　布告显现，上海睿励成立于2005年6月27日，注册资本约3.45亿元人民币，致力于集成电路出产前道工艺检测范畴设备研制和出产，是国内少量几家进入世界抢先的12英寸出产线的高端配备企业之一，并且是国内仅有进入某韩国抢先芯片出产企业的国产集成电路设备企业。本次增资，上海睿励的投前估值为4.1353亿元人民币。

　　上海睿励主营的产品为光学膜厚丈量设备和光学缺点检测设备，以及硅片厚3度及翘曲丈量设备等。上海睿励自主研制的12英寸光学丈量设备TFX3000系列产品，已应用在65/55/40/28纳米芯片出产线D存储芯片产线DNAND芯片的出产，并正在验证96层3DNAND芯片的丈量功能。

　　上海睿励应用于LED蓝宝石衬底图形检测的主动光学检测设备，也已成功出售到很多国内LEDPSS衬底和LED芯片出产线。

　　上海睿励正在开发下一代可支撑更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD丈量设备以及应用于集成电路芯片出产的缺点检测设备，进一步扩大可服务的市场规模。截止2020年11月30日，上海睿励具有专利87项，软件著作权39项，注册商标8项，著作著作权1项及存案域名2项。

　　中微公司称，公司依据运营战略开展考虑，拟对上海睿励进行增资。集成电路芯片出产设备包含光刻、刻蚀、薄膜、工艺检测、清洗、离子注入等诸多个细分品种。工艺检测设备是为芯片出产各工艺供给监测数据以保证各项工艺目标满足要求然后进步成品率的关键性设备。依据SEMI发布的近几年的年度计算，工艺检测设备市场规模约占半导体芯片制作工艺设备的13%，是仅次于光刻、刻蚀和薄膜的第四大细分设备范畴。跟着芯片工艺不断向更小节点开展，芯片出产过程中的所需检测的过程和频次越来越高，对工艺检测设备的需求量随之添加。

　　中微公司表明，公司在集成电路刻蚀设备范畴的研制和市场化方面现已取得了必定的效果，前期经过出资国内抢先的薄膜设备公司沈阳拓荆科技有限公司在集成电路薄膜设备范畴进行了布局。本次出资上海睿励将使公司可以布局集成电路工艺检测设备范畴。

　　此外，中微公司同上海睿励的客户和供货商有高度堆叠，经过本次出资，能进一步构成产业链协同效应。出资上海睿励是公司聚集并履行高端芯片设备战略的又一过程，系公司为完善事务布局而进行的出资。经过对上海睿励的出资，公司有望与上海睿励构成协同开展效应。

　　值得一提的是，因上海睿励系公司董事杨征帆担任现任董事、公司董事朱民在曩昔12个月内担任董事的企业，一起公司董事沈伟国系上海睿励曩昔12个月内榜首大股东上海创业出资有限公司的履行董事，故本次出资构成相关买卖，但未构成严重资产重组。